년도

2013

분야

산학연협력연구

연구과제명

V타입 플라즈마를 이용한 유해 PFC의 처리효율 평가

첨부파일

  2013-대전-김철규.pdf (파일 사이즈 : 248.6 KB)

책임자/기관

김철규 교수(한밭대학교)

연구기간

13.3.18~13.12.31

참여 연구원수

연구사업비

38,000만원

연구목적

◦ 현재 개발 중에 있는 선형타입의 Plasma-Wet방식의 스크러버 보다 한 단계 더 발전한 형태의 V타입의 scrubber 개발하고자 함.

주요내용

◦ 반도체공정가스 처리용 소형(10kw) 토치 설계 및 제작
◦ 반도체공정가스 처리용 소형 플라즈마 토치용 Power Supply 설계 및 제작
◦ 반응기 및 부대설비 설계/제작
◦ 운전 판넬 설계/제작
◦ 플라즈마 시스템 시운전 및 보완

연구결과 활용

◦ 사회적 효과
- PFC 배출량에 대한 자발적인 감축규제에 대한 목표를 달성하고, 반도체산업의 PFC로 인한 지구온난화 기여에 대한 사회의 부정적 시각 불식
◦ 환경개선 효과
- 고온 질소 Plasma-Wet방식 스크러버는 질소를 플라즈마 가스로 사용하여 고압의 직류전원을 이용해 연속적인 방전을 일으키고, 그 사이로 처리대상 가스를 흘림으로서 이를 분해 처리하는 방식으로 이러한 고온 플라즈마식은 기존 방법으로 처리가 불가능했던 PFC가스도 90% 이상 처리할 수 있음
- 플라즈마로 처리할 수 있는 온도는 2000℃ 이상이기 때문에 난분해성 가스인 PFC를 효과적으로 처리할 수 있으며, 기존의 저온 플라즈마 또는 고온 열분해방식(1000℃ 부근)보다 처리효율이 훨씬 뛰어남